? 產品介紹
P系列純化器通過采用催化吸附技術在常溫下將氣體中雜質進行吸附，POU純化器可根據客戶的不同需求進行定制（包含接頭尺寸大小、長短和盤面等）。
? 產品特點
?流量范圍100-1000LPM | ?可配置0.003微米過濾器 |
?出口氣體中各雜質含量小于1ppb | ?可返廠再生重復使用 |
?可選配閥門、選配接口形式 | ?316L SS EP純化罐 |
?設備壽命高達20年以上 | ?CE認證 |
?根據客戶需求定制各項參數 |
? 純化能力
可去除H?O、O?、Co、CO?、H?、NMHC等雜質<1ppb
可提供酸、堿、難熔化合物的去除
適用氣體N?、H?、O?、Ar、He、Kr、Ne、Xe 、CDA 、CH? 、CO? 、CL? 、BF?、HCL、GeCl?、GeH?、H?S、H?Se、HBr、SiHCl? 、SO?等三十多種特氣
? 產品選型
型號 | 最大流量 (SLPM) | 最大工作壓力 (Mpa) | 接口形式 | 長度 | 管徑 (mm) |
EGP100-HP | 100 | 18.0 | 1/4"MVCR | 15.55"±0.03" | 60 |
EGP100-SP | 100 | 24.0 | 1/4"MVCR | 15.63"±0.03" | 60 |
EGP250-HP | 250 | 18.0 | 1/4"MVCR | 19.88"±0.03" | 102 |
EGP250-SP | 250 | 24.0 | 1/4"MVCR | 20.04"±0.03" | 102 |
EGP500-HP | 500 | 18.0 | 1/2"MVCR | 22.95"±0.03" | 133 |
EGP500-SP | 500 | 24.0 | 1/2"MVCR | 23.19"±0.03" | 133 |
EGP1000-HP | 1000 | 18.0 | 1/2"MVCR | 42.09"±0.06" | 180 |
EGP1000-SP | 1000 | 24.0 | 1/2"MVCR | 45.55"±0.06" | 180 |
? 備注：表格中僅列出標準型號的指標和配置，更多特殊要求請與工廠聯系
? 應用領域
?大規模集成電路制造 | ?光纖預制棒生產 |
?半導體分立器件制造 | ?眾多半導體工藝設備配套 |
?大尺寸硅片、襯底、外延片生產 | ?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產 |
?LED、激光器制造 | ?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化 |
?平板顯示器生產 | ?大學和研究所等科研機構產品研發 |
?高效太陽能電池生產 | ?醫藥及食品行業 |
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