■ 產(chǎn)品介紹
玖恩智能氮?dú)釫GS8系列純化器采用裝填有定制物料的吸附桶在純化和再生兩個(gè)模式之間交替工作,實(shí)現(xiàn)24H不間斷供氣,具備完善的報(bào)警、聯(lián)鎖、數(shù)據(jù)記錄功能,可實(shí)現(xiàn)無人看守自動(dòng)運(yùn)行,可自動(dòng)切換再生,再生是通過純化后的工藝氣體與少量氫氣混合進(jìn)行加熱吹掃,純化模式時(shí)吸附桶是在常溫下進(jìn)行工作,再生時(shí)的工作溫度在 200-250℃之間。

? 產(chǎn)品特點(diǎn)
?流量范圍10-50000Nm3/h | ?可配置0.003微米過濾器 |
?出口氣體中各雜質(zhì)含量小于1ppb | ?全自動(dòng)再生、連續(xù)供氣 |
?使用壽命長達(dá)20年以上 | ?316L SS EP純化罐 |
?根據(jù)客戶需求定制各項(xiàng)參數(shù) |
? 純化能力
適用氣體 | N? | |
型 號(hào) | EGS8 | |
工藝 | ADS | |
雜質(zhì) | INLET | OUTLET |
ppm | ppb | |
H?O | <5 | <1 |
O? | <3 | <1 |
CO | <1 | <1 |
CO? | <1 | <1 |
H? | <2 | <1 |
NMHC | <1 | <1 |
PARTICLES | — | ≤1pcs/m3(@0.003μm) |
流量范圍 | — | 10-50000Nm3h |
? 產(chǎn)品選型
流量范圍Nm3/h | 工藝氣體 | 產(chǎn)品工藝 | 壓力范圍Bar | 參考尺寸mm |
10-10 | N? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 1050*515*1600 |
30-50 | N? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 850*900*2000 |
60-70 | N? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 1000*1150*2100 |
80-300 | N? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 1350*1150*2100 |
400-1000 | N? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 1800*1700*2450 |
1500-2000 | N? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 2690*2390*2700 |
2500-3500 | N? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 2650*2650*2650 |
4000-6000 | N? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 2650*2650*2750 |
7000-12000 | N? | 3 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 2900*4600*2750 |
12000-20000 | N? | 4 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 2900*4600*2750 |
20000-50000 | N? | 4 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 9000*2950*3400 |
? 應(yīng)用領(lǐng)域
?大規(guī)模集成電路制造 | ?光纖預(yù)制棒生產(chǎn) |
?半導(dǎo)體分立器件制造 | ?眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套 |
?大尺寸硅片、襯底、外延片生產(chǎn) | ?超高純氣體、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn) |
?LED、激光器制造 | ?吹掃氣體、載氣及零點(diǎn)氣體純化 |
?平板顯示器生產(chǎn) | ?大學(xué)和研究所等科研機(jī)構(gòu)產(chǎn)品研發(fā) |
?高效太陽能電池生產(chǎn) | ?醫(yī)藥及食品行業(yè) |