?流量范圍10-300Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質(zhì)含量小于1ppb

?全自動再生、連續(xù)供氣

?可以從惰性氣體中去除甲烷

?使用壽命長達20年以上

?316L SS EP純化罐

?根據(jù)客戶需求定制各項參數(shù)

適用氣體

H?

型號

EGS7-H

工藝

ADS+GET

雜質(zhì)

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H?O

<5

<1

O?

<3

<1

Co

<1

<1

CO?

<1

<1

N?

<1

<1

CH?

<0.5

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

一

≤1pcs/m3@0.003μm)

流量范圍

一

  10-300Nm3/h

流量范圍Nm3/h

工藝氣體

產(chǎn)品工藝

壓力范圍Bar

參考尺寸mm

20-50

H?

2 x ADS 自動再生+1 x Getter

3.5-10

1700*1200*2200

60-100

H?

2 x ADS 自動再生+2 x Getter

3.5-10

1700*1650*2250

150-200

H?

2 x ADS 自動再生+2x Getter

3.5-10

1900*1800*2450

250-300

H?

2 x ADS 自動再生+3 x Getter

3.5-10

2450*1800*2550

?大規(guī)模集成電路制造

?光纖預制棒生產(chǎn)

?半導體分立器件制造

?眾多半導體工藝設備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產(chǎn)

?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產(chǎn)

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化

?平板顯示器生產(chǎn)

?大學和研究所等科研機構(gòu)產(chǎn)品研發(fā)

?高效太陽能電池生產(chǎn)

?醫(yī)藥及食品行業(yè)