?流量范圍10-300Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質含量小于1ppb

?可以從惰性氣體中去除甲烷

?316L SS EP純化罐

?根據客戶需求定制各項參數

適用氣體

H?

型號

EGS7-G

工藝

GET

雜質

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H?O

<5

<1

O?

<3

<1

Co

<1

<1

CO?

<1

<1

N?

<1

<1

CH?

<0.5

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

一

≤1pcs/m3@0.003μm)

流量范圍

一

10-300Nm3h

流量范圍Nm3/h

工藝氣體

產品工藝

壓力范圍Bar

參考尺寸mm

10-30

H?

1 x Getter

3.5-10

700*800*1920

50-60

H?

1 x Getter

3.5-10

850*1000*1920

70-120

H?

2 x Getter

3.5-10

1400*1000*1840

150-200

H?

2 x Getter

3.5-10

2100*1300*2000

250-300

H?

3 x Getter

3.5-10

2600*1340*2090

?大規模集成電路制造

?光纖預制棒生產

?半導體分立器件制造

?眾多半導體工藝設備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產

?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化

?平板顯示器生產

?大學和研究所等科研機構產品研發

?高效太陽能電池生產

?醫藥及食品行業