?流量范圍100-1000Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質含量小于1ppb

?全自動再生、連續供氣

?可以從惰性氣體中去除甲烷及氬氣

?使用壽命長達20年以上

?316L SS EP純化罐

?根據客戶需求定制各項參數

適用氣體

H?

型號

EGS7-C

工藝

ADS+GET

雜質

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H?O

<5

<1

O?

<3

<1

Co

<1

<1

CO?

<1

<1

N?

<1

<1

Ar

<1

<1

CH?

<0.5

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

一

H?

流量范圍

一

100-1000Nm3/h

流量范圍Nm3/h

工藝氣體

產品工藝

壓力范圍Bar

參考尺寸mm

100-200

H?

2 x ADS 自動再生

3.5-10

2060*2250*2600

300-500

H?

2 x ADS 自動再生

3.5-10

2200*2250*2600

600-800

H?

2 x ADS 自動再生

3.5-10

2300*2450*2600

800-1000

H?

2 x ADS 自動再生

3.5-10

2300*2600*2700

?大規模集成電路制造

?光纖預制棒生產

?半導體分立器件制造

?眾多半導體工藝設備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產

?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化

?平板顯示器生產

?大學和研究所等科研機構產品研發

?高效太陽能電池生產

?醫藥及食品行業