? 產品介紹
H系列純化器是通過采用合金加熱在高溫下工作的小型純化器，與POU常溫型純化技術不同的是，常溫型純化器多是采用催化吸附技術，其僅依靠其表面吸附，而加熱吸氣劑合金技術則充分的利用了整個合金的體積容量，H系列加熱型純化器較POU型純化器去除雜質效率更佳，并且可去除CH?和N?, 使用壽命更長。
? 產品特點
?流量范圍0.2-150LPM | ?可配置0.003微米過濾器 |
?出口氣體中各雜質含量小于1ppb | ?可設置電源、溫度、壽命預警等自控功能 |
?可去除CH?和N? | ?可選配閥門、選配接口形式 |
?316L SS EP純化罐 | ?多型號可選 |
?可直接更換配件、無需返廠 | ?根據客戶需求定制各項參數 |
? 純化能力
可去除H?O、O?、CO、CO?、H?、NMHC、N?、CH?等雜質<1ppb （氣源品質≥5N）
可提供酸、堿、難熔化合物的去除
適用氣體N?、H?、O?、Ar、He、Xe、CDA、CO?、CH?等
? 產品選型
可選柜體式或壁掛式 | |||
型號 | 最大流量(SLPM) | 接口形式 | 最大壓差(MPA) |
EGH001 | 0.2 | 1/8" | 0.05 |
EGH003 | 5 | 1/4"VCR | 0.05 |
EGH050 | 50 | 1/4"VCR | 0.05 |
EGH075 | 75 | 1/4"VCR | 0.05 |
EGH100 | 100 | 1/2"VCR | 0.05 |
EGH150 | 150 | 1/2"VCR | 0.05 |
? 備注：表格中僅列出標準型號的指標和配置，更多特殊要求請與工廠聯系
? 應用領域
?大規模集成電路制造 | ?光纖預制棒生產 |
?半導體分立器件制造 | ?眾多半導體工藝設備配套 |
?大尺寸硅片、襯底、外延片生產 | ?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產 |
?LED、激光器制造 | ?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化 |
?平板顯示器生產 | ?大學和研究所等科研機構產品研發 |
?高效太陽能電池生產 | ?醫藥及食品行業 |
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