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產(chǎn)品中心

Product Center
EGS5- G系列純化器

EGS5- G系列純化器

可選流量范圍 10-300CMH

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? 產(chǎn)品介紹

玖恩智能EGS5-G系列稀有氣體（氦、氖、氬、氪、氙）純化器是通過采用填裝有定制物料的吸氣桶(Getter)在高溫下工作，通過不可逆的化學反應來去除雜質(zhì)，在吸氣桶(Getter)后段加裝有除氫單元（HRU），具備完善的報警、聯(lián)鎖、數(shù)據(jù)記錄功能，可實現(xiàn)無人看守自動運行，純化模式時吸氣桶(Getter)是在高溫下進行工作，工作溫度在 400℃左右，除氫單元（HRU）在常溫下工作。

? 產(chǎn)品特點

?流量范圍10-300Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質(zhì)含量小于1ppb

?可以從惰性氣體中去除甲烷

?316L SS EP純化罐

?根據(jù)客戶需求定制各項參數(shù)


? 純化能力

適用氣體

Ar、He、Kr、Ne、Xe

型號

EGS5-G

工藝

GET

雜質(zhì)

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H?O

<3

<1

O?

<1.5

<1

Co

<1

<1

CO?

<1

<1

H?

<1

<1

N?

<4

<1

CH?

<0.5

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

一

≤1pcs/m3@0.003μm)

流量范圍

—

10-300Nm3h

? 備注：表格中僅列出標準型號的指標和配置，更多特殊要求請與工廠聯(lián)系


? 產(chǎn)品選型

流量范圍Nm3/h

工藝氣體

產(chǎn)品工藝

壓力范圍Bar

參考尺寸mm

10-30

Ar、He、Kr、Ne、Xe

1 x Getter

3.5-10

700*800*1920

50-60

Ar、He、Kr、Ne、Xe

1 x Getter

3.5-10

850*1000*1920

70-120

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x Getter

3.5-10

1400*1000*1840

150-200

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x Getter

3.5-10

2100*1300*2000

250-300

Ar、He、Kr、Ne、Xe

3 x Getter

3.5-10

2600*1340*2090


? 應用領(lǐng)域

?大規(guī)模集成電路制造

?光纖預制棒生產(chǎn)

?半導體分立器件制造

?眾多半導體工藝設(shè)備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產(chǎn)

?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產(chǎn)

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化

?平板顯示器生產(chǎn)

?大學和研究所等科研機構(gòu)產(chǎn)品研發(fā)

?高效太陽能電池生產(chǎn)

?醫(yī)藥及食品行業(yè)