? 產品介紹
玖恩智能EGS5-H系列稀有氣體（氦、氖、氬、氪、氙）純化器是通過采用前端填裝有定制物料的吸氣桶(Getter)在高溫下工作，通過不可逆的化學反應來去除雜質，在吸氣桶(Getter)后段加裝有除氫單元（HRU）,具備完善的報警、聯鎖、數據記錄功能，可實現無人看守自動運行，純化模式時吸氣桶(Getter)是在高溫下進行工作，工作溫度在 400℃左右。
? 產品特點
?流量范圍10-300Nm3/h | ?可配置0.003微米過濾器 |
?出口氣體中各雜質含量小于1ppb | ?全自動再生、連續供氣 |
?可以從惰性氣體中去除甲烷 | ?使用壽命長達20年以上 |
?316L SS EP純化罐 | ?根據客戶需求定制各項參數 |
? 純化能力
適用氣體 | Ar、He、Kr、Ne、Xe | |
型號 | EGS5-H | |
工藝 | ADS+GET | |
雜質 | INLET | OUTLET |
ppm | ppb | |
H?O | <3 | <1 |
O? | <1.5 | <1 |
Co | <1 | <1 |
CO? | <1 | <1 |
H? | <1 | <1 |
N? | <4 | <1 |
CH? | <0.5 | <1 |
NMHC | <1 | <1 |
PARTICLES | 一 | ≤1pcs/m3@0.003μm) |
流量范圍 | — | 10-300Nm3h |
? 備注：表格中僅列出標準型號的指標和配置，更多特殊要求請與工廠聯系
? 產品選型
流量范圍Nm3/h | 工藝氣體 | 產品工藝 | 壓力范圍Bar | 參考尺寸mm |
20-50 | Ar、He、Kr、Ne、Xe | 2 x ADS 自動再生+1 x Getter | 3.5-10 | 1700*1200*2200 |
60-100 | Ar、He、Kr、Ne、Xe | 2 x ADS 自動再生+2 x Getter | 3.5-10 | 1700*1650*2250 |
150-200 | Ar、He、Kr、Ne、Xe | 2 x ADS 自動再生+2x Getter | 3.5-10 | 1900*1800*2450 |
250-300 | Ar、He、Kr、Ne、Xe | 2 x ADS 自動再生+3 x Getter | 3.5-10 | 2450*1800*2550 |
? 應用領域
?大規模集成電路制造 | ?光纖預制棒生產 |
?半導體分立器件制造 | ?眾多半導體工藝設備配套 |
?大尺寸硅片、襯底、外延片生產 | ?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產 |
?LED、激光器制造 | ?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化 |
?平板顯示器生產 | ?大學和研究所等科研機構產品研發 |
?高效太陽能電池生產 | ?醫藥及食品行業 |
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