?流量范圍10-5000Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質含量小于1ppb

?可返廠或上門再生

?316L SS EP純化罐

?根據客戶需求定制各項參數

適用氣體

N₂、H₂、Ar、He、O?、CDA

型 號

EGS14-D

EGS14-M

雜質

INLET

OUTLET

ppm

ppb

ppb

H?O

<3

<1

<1

O?

<1

一

<1

H?

<1

一

<1

CO

<1

一

<1

CO?

<1

<1

<1

NMHC

<1

一

<1

PARTICLES

—

≤1pcs/m3(@0.003μm)

流量范圍

一

10-100Nm3/h

?大規模集成電路制造

?光纖預制棒生產

?半導體分立器件制造

?眾多半導體工藝設備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產

?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化

?平板顯示器生產

?大學和研究所等科研機構產品研發

?高效太陽能電池生產

?醫藥及食品行業