高壓氣體純化器

可選流量范圍 100-240 CMH

? 產品介紹

玖恩智能EGS8-H(氮)、EGS5-A-H(氦、氖、氬、氪、氙)系列高壓吸附自動再生型純化器，最高工作壓力可達到240Bar或更高，采用裝填有定制物料的吸附桶在純化和再生兩個模式之間交替工作，實現24H不間斷供氣，具備完善的報警、聯鎖、數據記錄功能，可實現無人看守自動運行，可自動切換再生，再生是通過純化后的工藝氣體與少量氫氣混合進行加熱吹掃，純化模式時吸附桶是在常溫下進行工作，再生時的工作溫度在 200-250℃之間。反應桶設計按照國家壓力容器標準進行極限溫度補償設計，安全可靠。

玖恩智能EGS5-G-H系列稀有氣體（氦、氖、氬、氪、氙）、EGS9-G-H(氮)、EGS7-G-H(氫)高壓Getter型純化器是通過采用填裝有定制物料的吸氣桶(Getter)在高溫下工作，最高工作壓力可達到240Bar或更高，通過不可逆的化學反應來去除雜質,具備完善的報警、聯鎖、數據記錄功能，可實現無人看守自動運行，純化模式時吸氣桶(Getter)是在高溫下進行工作，工作溫度在 400℃左右。反應桶設計按照國家壓力容器標準進行極限溫度補償設計，安全可靠。

? 產品特點

?流量范圍100-240Nm3/h	?可配置0.003微米過濾器
?出口氣體中各雜質含量小于1ppb	?全自動再生、連續(xù)供氣
?可以從惰性氣體中去除甲烷	?使用壽命長達20年以上
?316L SS EP純化罐	?根據客戶需求定制各項參數

? 純化能力

適用氣體		N?、H?、Ar、He、Kr、Ne、Xe
工藝		GET/ADS
雜質	INLET	OUTLET
雜質	ppm	ppb
氣體雜質	—	按需定制
PARTICLES	—	≤1pcs/m3(@0.003μm)
流量范圍	—	100-240Nm3h

? 備注：表格中僅列出標準型號的指標和配置，更多特殊要求請與工廠聯系

? 產品選型

設備型號	工藝氣體	流量范圍Nm3/h	壓力范圍Bar	參考尺寸mm
EGS5-G-50-H	Ar、He、Kr、Ne、Xe	50-100	100-240	8509002000
EGS5-G-100-H	Ar、He、Kr、Ne、Xe	50-100	100-240	115011502000
EGS7-G-50-H	H?	50-100	100-240	8509002000
EGS7-G-100-H	H?	50-100	100-240	115011502000
EGS8-50-H	N?	50-100	100-240	8509002000
EGS8-100-H	N?	50-100	100-240	115010002100
EGS9-G-50-H	N?	50-100	100-240	8509002000
EGS9-G-100-H	N?	50-100	100-240	115011502000

? 應用領域

?大規(guī)模集成電路制造	?光纖預制棒生產
?半導體分立器件制造	?眾多半導體工藝設備配套
?大尺寸硅片、襯底、外延片生產	?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產
?LED、激光器制造	?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化
?平板顯示器生產	?大學和研究所等科研機構產品研發(fā)
?高效太陽能電池生產	?醫(yī)藥及食品行業(yè)

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